Crédit : CEA-Leti
Le centre de recherche grenoblois vient d’inaugurer une nouvelle ligne pilote dédiée aux technologies avancées de semi-conducteurs. Cette installation porte à près de 14 000 m² la surface totale de salles propres opérationnelles du site.

À Grenoble, le CEA-Leti renforce son parc de salles propres avec la mise en service de la ligne FAMES. Sortie de terre en deux ans, cette nouvelle installation développe 2 000 m² d’environnements contrôlés équipés pour la fabrication de puces microélectroniques 300 mm de dernière génération.

Selon le CEA, cette infrastructure marque une évolution notable par rapport aux capacités actuellement disponibles en Europe, tant sur le plan technologique qu’environnemental. « Elle a été conçue dès l’origine pour accueillir les équipements 300 mm les plus sophistiqués, ainsi que les outils de lithographie les plus avancés, tout en garantissant des niveaux élevés de fiabilité et de continuité opérationnelle », indique Sébastien Dauvé, directeur du CEA-Leti.

Recyclage de l’eau et isolation haute performance

Les enjeux environnementaux ont été intégrés dès la conception du bâtiment. L’architecture économe en énergie et l’optimisation des infrastructures doivent permettre une réduction estimée des émissions annuelles de CO₂ d’environ 651 000 kilogrammes, soit l’équivalent de près de 70 vols autour du monde.

Plusieurs dispositifs complémentaires ont également été déployés. Ils concernent notamment l’isolation haute performance et la récupération de chaleur résiduelle, la séparation et le recyclage avancés des eaux de process et de refroidissement, l’intégration de toitures végétalisées pour la gestion des eaux pluviales, ainsi que la surveillance continue des consommations énergétiques et des ressources.

La ligne pilote Fames s’inscrit dans la réponse européenne à la loi sur les puces électroniques (EU Chips Act). Elle vise à faire mûrir des technologies microélectroniques avancées - FD-SOI, mémoires non volatiles intégrées, radiofréquence, intégration 3D et circuits de gestion de l’énergie - et à en accélérer le transfert vers l’industrie.

D’un montant total de 830 millions d’euros, le projet est financé par la Commission européenne dans le cadre du Chips Act, par huit États membres (Allemagne, Belgique, Irlande, Finlande, Autriche, Espagne et Pologne) ainsi que par l’État français via le programme France 2030.

Avec l’inauguration de la ligne Fames, la surface totale de salles propres opérationnelles du CEA-Leti atteint désormais près de 14 000 m².