La fabrication et la conception de microdispositifs électroniques, appelés aussi Micro electro mechanical systems (MEMS), comme le réalise ESIEE Paris dans ses 640 m de salles propres, nécessitent des conditions de qualité d’air particulières reposant sur plusieurs systèmes de traitement d’air et filtration.

Une salle propre ou cleanroom est un environnement ultrapropre dans lequel on peut fabriquer ou étudier des dispositifs plus petits que le diamètre d’un cheveu (compris entre 50 et 100 µm). Il est donc nécessaire de fournir un environnement maîtrisé (qualité de l’air, température, hygrométrie) pour protéger les opérateurs et assurer la répétabil...