Comment maîtriser la consommation énergétique d'une salle propre dédiée aux technologies microélectroniques tout en maintenant les paramètres environnementaux requis pour les procédés de micro-nanofabrication ou l'élaboration des matériaux ? C'est l'enjeu qui s'est posé, au tournant des années 2020, au C2N installé au cœur du campus Paris-Saclay. Retour sur les actions mises en place et les perspectives pour réduire la consommation énergétique de la plus grande salle propre de recherche académique de France.

Le Centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N) est une unité mixte de recherche du CNRS, université Paris-Saclay, université Paris-Cité [1]. Il a été implanté dans le pôle de recherche du plateau de Saclay en 2018. La mise en service de ses infrastructures, après l'installation des équipements de recherche et le démarrage des activités, a étÃ...